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白光干涉表面形貌仪

产品/服务:
品 牌: CHOTEST中图仪器
有效期至: 长期有效
最后更新: 2023-12-10 16:51
单价:
面议
最小起订量:
1 台
供货总量:
99 台
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公司基本资料信息






  • 详细说明
  • 规格参数
CHOTEST中图仪器SuperViewW1白光干涉表面形貌仪集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。主要应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等*域中,测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米*别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

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产品功能

1)SuperViewW1白光干涉表面形貌仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供*键分析和多文件分析等辅助分析功能。

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SuperViewW1白光干涉表面形貌仪测量范围可从纳米*粗糙度到毫米*的表面形貌,可以快速获取被测工件表面三维形貌和数据进行检测,可用于成品质量的管理,确保良品合格率。测量过程简便,只需要操作者装好被测工件,在软件里设好视场参数,把物镜调节到被测工件表面,选择自动聚焦后,仪器就会主动找干涉条纹开始扫描测量。然后自动生成工件表面3D图像,*键输出反映工件表面质量的2D、3D参数,完成工件表面形貌*键测量。

 

应用*域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

结果组成:

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。

具体应用:

在3C*域,可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度;

在LED行业,可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度;

在光纤通信行业,可以测量光纤端面缺陷和粗糙度;

在集成电路行业,可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行业,可以测量台阶高度和表面粗糙度;

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