LFC-7000系列是 系列高性能闭环流量控制器，设计用于多种
高纯液体，包括去离子水，刺激性化学物质和CMP抛光浆料。
特征
•高精度-将流量控制在设定值的±1％以内；流体混合和/或分配应用的理想选择
•快速响应3秒（对于大多数应用，通常<2秒）
•具有2种类型的控制阀的广泛应用范围
•广泛的流量控制能力；5 mL / min-12000 mL / min（量程可高达100：1）
•所有PTFE / PFA润湿部件的构造–确保与UHP液体化学品，去离子水和CMP浆液（具有Pt固化有机硅管的浆液模块）兼容。
•维护成本低-具有超声波流量计且无活动部件的模块可提供 佳的“正常运行时间”（泥浆模块的夹管更换周期为3年或更长时间）
本产品受美国和国际专利保护。有关 更多信息，请参见 Malema的专利列表。
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