中图仪器VT6000激光共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，是*款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米*测量的检测仪器。
产品功能
1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；
2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；
3)设备具备*体化操作的测量与分析软件，预*设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；
4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；
5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6)设备具备*键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；
技术指标
型号 VT6100
行程范围
X 100mm
Y 100mm
Z 100mm
外形尺寸
520*380*600mm
仪器重量 50kg
测量原理 共聚焦光学系统
显微物镜 10×;20×;50×;100×
视场范围 120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度测量
重复性(1σ) 12nm
精度 ± (0.2+L/100) μm
显示分辨率 0.5nm
宽度测量
重复性(1σ) 40nm
精度 ± 2%
显示分辨率 1nm
XY位移平台 负载 10kg
控制方式 电动
Z0轴扫描范围 10mm
物镜塔台 5孔电动
光源 白光LED
在相同物镜放大的条件下，共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。擅长微纳*粗糙轮廓的检测，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。
应用*域
对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
自设计之初，VT6000激光共聚焦显微镜便定下了“简单好用"四字方针的目标。
1）结构简单：仪器整体由*台轻量化的设备主机和电脑构成，控制单元集成在设备主机之内，亦可采用笔记本电脑驱动，实现了“拎着走"的便携式设计；
2）真彩图像：配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像，对细节的展现纤毫毕现；
3）操作便捷：采用全电动化设计，并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换，图像视窗和分析视窗同界面的设计风格，实现了所见即所得的快速检测效果；
4）采用自研的电动鼻轮塔台，并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化，确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。
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