结果组成:
1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;
3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;
5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;
6、微电子表面分析和MEMS表征。
性能特点
1、3D测量
W1系列三维白光干涉仪采用白光干涉技术,结合具有抗噪性能的3D重建算法,真实还原样品的每*个细节,随意翻转缩放,轻松观察、测量样品的任意特征。
2、功能全
粗糙度、平面度、孔洞分析等3D测量功能全部囊括,距离、角度、直径测量等2D轮廓分析功能覆盖,有依据ISO|ASME|EUR|GBT四大国内外标准的300余种特征参数
3、操作便捷
直观的操作界面,操作流程*目了然,自动聚焦,*键实现测量过程;可视化的工作流程树,*键激活的图库管理功能,所见即所得的分析功能,有*键分析功能,批量测量不用愁。
4、高重复精度
采用了扫描模块和内部抗振设计,可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性。
W1系列三维白光干涉仪提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型,另可针对不同的客户需求,在两种型号间选取不同配置进行组合,让仪器切合客户需求,贴心省力。